Ka hoʻomaopopo ʻana i ka ʻenehana Thin-Film
Hoʻokomo ʻia ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi i ka waiho ʻana i nā papa ʻili ʻili o nā mea (maʻamau mai kahi mau nanometer a hiki i kahi micrometers ka mānoanoa) ma luna o kahi pani. Hiki ke hana ʻia kēia mau papa me nā metala, semiconductor, insulators, a i ʻole nā mea ʻē aʻe, a hoʻohana ʻia e hana i nā ʻāpana uila hana. He mea koʻikoʻi kēia ʻenehana i ka hana ʻana i nā mea uila no ka mea e hiki ai ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me ka hana o nā ʻāpana. Hana ʻia ka hoʻoheheʻe kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma o ka hoʻoheheʻe ʻana i ka mahu kino (PVD) a i ʻole ka hoʻoheheʻe ʻana i ka mahu (CVD), e hōʻoia ana i ka maikaʻi a me ka hana o ka huahana hope.
ʻO ka hoʻomohala ʻana o ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi mai ka waena o ke kenekulia 20 i ka wā i loaʻa ai nā holomua nui i ka ʻepekema waiwai a me nā ʻenehana hoʻopaʻa haʻahaʻa. I ka hoʻomaka ʻana, ua hoʻohana nui ʻia ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi i ka ʻoihana semiconductor no ka hana ʻana i nā transistors a me nā kaapuni hoʻohui. I ka holomua ʻana o ka ʻenehana a me ka piʻi ʻana o ke koi, ua hoʻonui koke ʻia ka laulā noi o ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi. I kēia lā, hoʻohana nui ʻia ia i ka hana sensor, nā uhi optical, nā cell solar, hard disk drive, a me nā pale anti-corrosion, a me nā mea ʻē aʻe. No ka laʻana, i ka hana ʻana i ka sensor, hoʻohana ʻia ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi e hana i nā mea ʻike kaomi, nā mea ʻike kinoea, a me nā ʻike wela, kahi i hōʻike ʻia e ka ʻike kiʻekiʻe a me ka pololei. Eia kekahi, ke ulu nei ka noi o ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi i nā ʻōnaehana microelectromechanical (MEMS) a me ka nanotechnology, e hāʻawi ana i ke kākoʻo koʻikoʻi no ka hana hou a me ka hoʻomohala ʻana i kēia mau kahua.
ʻO nā hiʻohiʻona koʻikoʻi o ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi e pili ana i kona pololei kiʻekiʻe, hiki ke maʻalahi, a me ka hiki ke hoʻohui i nā hana he nui. Hiki i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni kiʻekiʻe ke hoʻokō i nā ana kūpono loa i loko o kahi ākea liʻiliʻi, he mea koʻikoʻi ia no nā mea e like me nā mea ʻike kaomi e pono e mālama i nā ana kaomi pololei ma lalo o nā kūlana kaiapuni. ʻO ka maʻalahi o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi e hiki ai iā lākou ke hoʻololi i nā substrate like ʻole a me nā pono noi, hiki ke hoʻopaʻa ʻia ma nā substrates like ʻole e like me ke silicon, aniani, metala, a me nā plastics, a laila e loaʻa ai nā hana he nui. Eia kekahi, hiki ke hoʻohui ʻia ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi me nā ʻenehana a me nā mea hana ʻē aʻe e hana i nā mea hana composite me nā hana he nui. No ka laʻana, hiki i ka hoʻohui ʻana i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni me MEMS hiki ke hana i nā mea ʻike puʻupuʻu liʻiliʻi ʻaʻole wale ka liʻiliʻi a me ka māmā akā ʻoi loa ka naʻau a me ka hilinaʻi.
Hiki i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi ke hoʻohui i nā hana he nui i loko o ka mea hoʻokahi, ʻo ia hoʻi e hiki ke hoʻokō ʻia ka ʻike, ana, a me ka hoʻoili ʻikepili i ka manawa like i loko o kahi papa kiʻiʻoniʻoni lahilahi, e hoʻomaʻamaʻa i ka hoʻolālā ʻana a me ke kaʻina hana o ka hāmeʻa. ʻAʻole hoʻonui kēia mana hoʻohui i ka hana a me ka hilinaʻi wale nō akā e hōʻemi ana i nā kumukūʻai hana a me ka paʻakikī. I ka hoʻomohala ʻana i nā ʻenekona kaomi, hiki i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi ke hoʻomaikaʻi nui i ka hana sensor, e ʻae iā lākou e hana paʻa i nā ʻano paʻakikī.
ʻO ka hoʻohui ʻana i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni i loko o nā mea ʻike kaomi
ʻO ka hoʻohui ʻana o ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni i nā mea ʻike kaomi e hoʻoikaika i ka hana, hoʻemi i ka nui, a hoʻonui i ka ʻike. Ma ke kaohi pono ʻana i nā waiwai waiwai a me ka mānoanoa o ka papa, hiki i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi ke hoʻomohala i nā mea ʻike kiʻekiʻe. ʻAʻole kēia hoʻohui e hoʻomaikaʻi wale i ka hana holoʻokoʻa o nā sensor akā lawe pū kekahi i nā pōmaikaʻi nui i kekahi mau mea nui.
ʻO ka mea mua, hiki i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi ke hiki i ka miniaturization o nā mea ʻike. ʻIke pinepine nā mea ʻike kaomi kuʻuna i nā palena o ka nui a me ke kaumaha, ʻoiai ʻo ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi e hiki ai ke hana i nā mea ʻike liʻiliʻi a māmā me ka ʻole o ka hoʻokō ʻana. He mea koʻikoʻi kēia no nā noi me nā wahi liʻiliʻi a i ʻole e koi ana i nā hāʻina māmā, e like me nā mea lapaʻau a me MEMS.
ʻO ka lua, ʻoi aku ka maikaʻi o nā sensor kiʻiʻoniʻoni lahilahi i ka hoʻonui ʻana i ka naʻau. Hiki i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi ke ʻike i nā loli kaomi minuke me ka pololei kiʻekiʻe, e hoʻomaikaʻi i kēia mau mea ʻike i nā kaiapuni e koi ana i nā ana pololei. No ka laʻana, i ka ʻenehana ʻenehana a me ka nānā ʻana i ke kaiapuni, hiki i nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni lahilahi ke hāʻawi i ka ʻikepili pololei, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka pono o ka ʻōnaehana holoʻokoʻa a me ka hilinaʻi.
Eia kekahi, hoʻomaikaʻi ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi i ka hilinaʻi a me ka lōʻihi o nā mea ʻike kaomi. ʻO ke kūlike kiʻekiʻe a me ka paʻa o nā ʻāpana kiʻiʻoniʻoni lahilahi e hōʻoia i ka hana maʻamau ma luna o ka hoʻohana lōʻihi. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea ʻike kuʻuna, hiki i nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni lahilahi ke mālama i ka hana maikaʻi ʻoiai ma lalo o nā kūlana kaiapuni koʻikoʻi, e hoʻohana nui ʻia i nā kula e like me ka aerospace a me nā ʻoihana automotive.
Ke hoʻohālikelike ʻia me nā ʻano kuʻuna, hāʻawi ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni i kahi ʻano māmā, paʻa, a paʻakikī loa. Kūʻē pinepine nā mea ʻike puʻe kuʻuna i nā luʻina i ka nui, ke kaumaha, a me ka pololei, ʻoiai ʻo ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi, me kāna mau waiwai waiwai a me nā kaʻina hana hana, lanakila i kēia mau palena. ʻAʻole i loaʻa i nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni wale nā pōmaikaʻi i ka nui a me ke kaumaha akā ua ʻoi aku ka maikaʻi ma mua o nā mea ʻike kuʻuna ma ke ʻano o ka pololei a me ka naʻau. Hoʻolilo kēia mau mea maikaʻi i ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni lahilahi i mea nui o ka hoʻomohala ʻana i ka ʻenehana sensor hou.
Nā mea no nā mea hoʻopaʻa kiʻiʻoniʻoni lahilahi
He mea koʻikoʻi ke koho ʻana i nā mea no nā ʻenekona kiʻiʻoniʻoni lahilahi no ka mea e pili pono ana kēia mau mea i ka hana a me ka hilinaʻi o nā mea ʻike.
Mea maʻamau
ʻO nā mea maʻamau i hoʻohana ʻia i loko o nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni e like me ke gula, platinum, a me ka aluminika, i ʻike ʻia no ko lākou conductivity maikaʻi loa a me ke kūpaʻa corrosion. Hoʻohana pinepine ʻia ke gula, ma ke ʻano he conductive nui, i nā ʻāpana electrode o nā sensor e hōʻoia i ka pololei a me ka paʻa o ka hoʻouna ʻana i ka hōʻailona. ʻO Platinum, ma muli o kona kūpaʻa wela maikaʻi loa a me ka pale ʻana i ka oxidation, hoʻohana nui ʻia i nā sensor no nā kaiapuni kiʻekiʻe. ʻO ka alumini ka māmā a me ka conductivity maikaʻi, hoʻohana mau ʻia i nā noi sensor e koi ana i ka hoʻomalu kaumaha. Hoʻohui ʻia, hoʻohana nui ʻia nā mea semiconductor e like me ke silikoni a me ka germanium i nā ʻenekini kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni ma muli o ko lākou mau pono mechanical maikaʻi a me ka naʻau, e pāʻani ana i kahi kuleana koʻikoʻi ma MEMS.
Mea Kiekie
Me ka hoʻomohala ʻenehana, loaʻa nā mea kiʻekiʻe e like me nā nanocomposites a me ka graphene e hoʻonui i ka nānā ʻana no kā lākou noi ʻana i nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni lahilahi. Ua noiʻi nui ʻia kēia mau mea no ko lākou mau waiwai maikaʻi a hiki ke hoʻonui hou i ka hana sensor. Hoʻohui nā Nanocomposites i nā pono o nā mea like ʻole, e hāʻawi ana i ka ikaika mechanical a me ka conductivity, hiki ke hoʻomaikaʻi nui i ka naʻau a me ka lōʻihi. ʻO Graphene, me kāna ʻano papa ʻātoma hoʻokahi a me nā waiwai uila koʻikoʻi, ua manaʻo ʻia he koho kūpono no nā mea sensor e hiki mai ana. ʻAʻole wale ia he conductivity ultra-kiʻekiʻe akā hōʻike pū kekahi i ka ikaika mechanical maikaʻi a me ka elasticity, e hōʻike ana i ka mana nui i ka hoʻomohala ʻana i nā mea ʻike puʻupuʻu ultra-sensitive.
Na waiwai waiwai
Hoʻokumu ʻia ke koho ʻana o nā mea no nā ʻenekini puʻu kiʻiʻoniʻoni ma luna o ko lākou uila, mechanical, a me nā mea wela e hōʻoia i ka hana maikaʻi loa ma lalo o nā kūlana hana. No ka laʻana, pono nā mea ʻike i hoʻohana ʻia i nā kaiapuni kiʻekiʻe i nā mea me ke kūpaʻa wela maikaʻi loa a me ka pale ʻana i ka oxidation, ʻoiai nā noi e koi ana i ka naʻau kiʻekiʻe e noʻonoʻo i ka conductivity uila a me ka modulus elasticity mechanical o nā mea. Ma ka noʻonoʻo piha ʻana i kēia mau waiwai waiwai, hiki i nā mea hoʻolālā ke koho i nā mea kūpono loa no nā pono noi kikoʻī, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hilinaʻi a me ka pololei o nā sensor i nā ʻano paʻakikī.
Nā Manaʻo Noʻonoʻo no nā Kiʻiʻoniʻoni Paʻi Paʻi
Hoʻolālā nā manaʻo noʻonoʻo no nā ʻenekona kiʻiʻoniʻoni lahilahi e hōʻoia i kā lākou hana, hilinaʻi, a paʻa i nā noi like ʻole.
Hoʻolālā Hana
ʻO ka hoʻolālā hoʻolālā ʻana o nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni e hōʻoia i ka paʻa ʻana o ka mīkini a me ka paʻa ʻoiai e mālama ana i ka naʻau a me ka pololei. Pono kēia i nā mea hoʻolālā e noʻonoʻo ʻaʻole wale i nā waiwai kino o ka kiʻiʻoniʻoni lahilahi akā i ka ukana mechanical a me ke kaomi kaiapuni i nā noi maoli. ʻO ka hoʻolālā hoʻolālā o ka sensor ke kū i nā ʻano koʻikoʻi mechanical a me nā loli kaiapuni ʻoiai e mālama ana i kahi hōʻailona puka paʻa.
ʻO ka ʻike
ʻO ka sensitivity kahi kumu nui i ka hoʻolālā ʻana i nā mea ʻike kaomi, i hoʻopili ʻia e ke koho ʻana i nā mea waiwai, ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni lahilahi, a me ka ʻenehana hana. Hiki i nā mea ʻike kiʻekiʻe ke ʻike i nā loli kaomi minuke, koʻikoʻi no ke ana pololei a me nā noi kaohi. Hoʻopili pololei ke koho mea i ka naʻau sensor; ʻokoʻa nā mea ʻokoʻa i nā ʻano mechanical a me nā pono uila, kūpono no nā pono noi like ʻole. ʻO ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni lahilahi kekahi mea koʻikoʻi; ʻoi aku ka lahilahi o ke kiʻiʻoniʻoni, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka naʻau, akā e hōʻemi paha kēia i ka ikaika mechanical, pono ke kaulike ma waena o ka sensitivity a me ka ikaika.
Ka pololei a me ka pololei
ʻO ka loaʻa ʻana o ka pololei kiʻekiʻe a me ka pololei i nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni e pono ai ka hoʻolālā akahele a me nā kaʻina hana e hōʻoia i ka hilinaʻi ʻana o ke ana ʻana. Hoʻopili kēia i ka hoʻomalu pono ʻana i ka mānoanoa a me ke kūlike o ka kiʻiʻoniʻoni lahilahi, ke koho ʻana i nā substrate kūpono, a me ka hoʻonui ʻana i nā kaʻina hana. Hiki ke hoʻololi i ka hana sensor, hiki ke hoʻololi i ka hoʻokele maikaʻi a me ka hoʻāʻo ʻana.
Nā ʻano hana Manawa pane
Loaʻa ka manawa pane wikiwiki o nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni lahilahi, koʻikoʻi no nā noi ikaika e koi ana i ka nānā ʻana i ka manawa maoli. ʻO ka manawa pane wikiwiki e hōʻoia e hiki i ka sensor ke hopu koke i nā loli kaomi, e hāʻawi ana i ke kākoʻo ʻikepili manawa maoli no nā noi ma nā kahua e like me ka automation ʻoihana, nā mea lapaʻau, a me ka aerospace.
Ka lōʻihi
ʻO ke koho ʻana i nā mea kūpono a me ka hoʻohana ʻana i nā ʻenehana hana hilinaʻi e hoʻomaikaʻi i ka lōʻihi o nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni lahilahi, e hōʻoia ana i ka hilinaʻi lōʻihi. He mea koʻikoʻi ka lōʻihi no ka hana paʻa lōʻihi o nā mea ʻike, ʻoi aku ka poʻe e hana ana i nā kūlana kaiapuni koʻikoʻi, e like me ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe, ka haʻahaʻa kiʻekiʻe, a i ʻole nā kaiapuni corrosive.
Paʻa Kaiapuni
Pono e hoʻomau ka hana ʻana ma lalo o nā kūlana kaiapuni like ʻole, me ka loli ʻana o ka mahana, ka haʻahaʻa, a me ke kaumaha mechanical. Pono kēia i nā mea ʻike e loaʻa i ka paʻa kaiapuni maikaʻi, hiki ke hana i loko o kahi ākea ākea, a ʻaʻole i ʻike i nā loli o ka haʻahaʻa a me ke koʻikoʻi mechanical. ʻO ke koho ʻana i nā mea waiwai a me ka hoʻolālā paʻi ʻana he kuleana koʻikoʻi i ka hōʻoia ʻana i ka paʻa o ke kaiapuni o nā sensor.
Hoʻohana ʻia o nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni lahilahi
I loko o ka ʻoihana kaʻa, hoʻohana ʻia nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni i nā ʻōnaehana kiaʻi paʻi paʻa (TPMS) e hāʻawi i ka ʻikepili i ka manawa maoli, hoʻonui i ka palekana a me ka hana. Ma nā ʻōnaehana hoʻokele ʻenekini, nānā kēia mau mea ʻike i ka wahie a me ke kaomi ea, e hōʻoia ana i ka hana ʻoi loa a me ka pono. Hoʻohui ʻia, hilinaʻi nā ʻōnaehana palekana automotive e like me nā airbags a me nā ʻōnaehana braking i nā ʻenekini kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni no ke ana ʻana i ke kaomi pololei a me ka hoʻāla ʻana i ka manawa.
Ma ke kahua lapaʻau, hoʻohana ʻia nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni i loko o ka nānā ʻana i ke koko, e hāʻawi ana i nā ana kūpono a me ka ʻole invasive pono no ka mālama maʻi a me ka maʻi. Hoʻohana ʻia lākou i nā sensor implantable no ka nānā mau ʻana i ka physiological, hoʻomaikaʻi i nā hopena lapaʻau maʻi. ʻO nā mea lapaʻau hiki ke hoʻohana ʻia, e like me nā mea nānā kino a me nā mea nānā olakino, e hoʻohana i kēia mau mea ʻike e nānā i nā hōʻailona koʻikoʻi a me nā hana kino.
Ma ka ʻāpana aerospace, hoʻohana ʻia nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni no ka nānā ʻana i ke kaomi ʻana o ka cabin, e hōʻoia ana i ke kaomi ʻana o ka pahu no ka hōʻoluʻolu a me ka palekana. Hoʻohana pū ʻia lākou no ka nānā ʻana i ke olakino olakino, hiki ke ʻike i nā pilikia kūpono ma mua o ka lilo ʻana i koʻikoʻi. Eia kekahi, koʻikoʻi kēia mau mea ʻike i nā ʻōnaehana hoʻokele kaiapuni spacecraft, e hōʻoia ana i nā kūlana paʻa no ka poʻe holo a me nā mea hana.
I loko o nā noi ʻoihana, hoʻohana ʻia nā mea ʻike kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni no ka hoʻokele kaʻina hana pololei, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hana kūpono a me ka pono. Ke hilinaʻi nei nā ʻōnaehana robotic i kēia mau mea ʻike no ka manaʻo hoʻonaninani a me ka ʻike kaomi, hoʻonui i kā lākou hana a me nā hiki. Hoʻohana pū nā ʻōnaehana palekana ʻoihana i nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni e ʻike a pane i nā loli kaomi, pale i nā ulia a me ka hōʻoia ʻana i ka palekana o ka limahana.
Nīnau pinepine
He aha nā mea maikaʻi nui o nā mea ʻike paʻi kiʻi ʻoniʻoni?
Hāʻawi nā ʻenekona kiʻiʻoniʻoni lahilahi i ka naʻau kiʻekiʻe, miniaturization, a me ka hilinaʻi i hoʻonui ʻia, e hoʻolilo iā lākou i kūpono no nā noi like ʻole. ʻO ko lākou naʻau kiʻekiʻe e hiki ai iā lākou ke ʻike i nā loli kaomi minuke, ʻo ka hoʻolālā liʻiliʻi e kūpono iā lākou no nā noi i hoʻopaʻa ʻia i ka lewa, a me ka hilinaʻi i hoʻonui ʻia e hōʻoia i ka hana paʻa lōʻihi i nā wahi paʻakikī.
Pehea ka ʻokoʻa o nā ʻenekini kiʻiʻoniʻoni lahilahi me nā mea ʻike kuʻuna?
ʻOi aku ka pololei, paʻa, a ʻoi aku ka lōʻihi ma mua o nā ʻenekini puʻupuʻu maʻamau. Hāʻawi lākou i ka hana ʻoi aku ka maikaʻi ma nā noi koi, hiki ke hana i loko o kahi ākea ākea o nā wela a me nā paʻi, a loaʻa iā lākou ka ʻike kiʻekiʻe a me ka wikiwiki pane. ʻO kēia mau hiʻohiʻona e ʻoi aku ka maikaʻi o nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni lahilahi i nā noi kiʻekiʻe.
He aha nā mea i hoʻohana mau ʻia i loko o nā mea ʻike kaomi kiʻiʻoniʻoni lahilahi?
ʻO nā mea maʻamau ka metala e like me ke gula a me ka platinum, nā semiconductor e like me ke kilika, a me nā mea holomua e like me ka graphene. Hoʻohana nui ʻia ke gula a me ka platinum no kā lākou conductivity maikaʻi a me ke kūpaʻa corrosion i nā electrodes sensor. Hoʻohana maʻamau ʻia ʻo Silicon i nā kiʻi ʻoniʻoni semiconductor ma muli o kāna mau ʻano mekini maikaʻi a me nā hiʻohiʻona uila, ʻoiai ʻo ka graphene i manaʻo ʻia he koho maikaʻi loa no nā mea sensor e hiki mai ana ma muli o kāna mau waiwai uila a me ka ikaika mechanical.
ʻO wai nā ʻoihana e pōmaikaʻi loa mai nā mea ʻike kaomi kiʻiʻoniʻoni lahilahi?
Loaʻa ka pōmaikaʻi o nā ʻoihana kaʻa, lāʻau lapaʻau, aerospace, nā mea hoʻohana uila, a me nā ʻoihana ʻoihana ʻenehana mai nā mea ʻike kiʻiʻoniʻoni lahilahi. I loko o ka ʻoihana kaʻa, hoʻohana ʻia kēia mau ʻike no ka nānā ʻana i ka puʻupuʻu a me ka hoʻokele engine; ma ke kahua lapaʻau, hoʻohana ʻia lākou no ka nānā ʻana i ke koko a me nā mea ʻike implantable; i ka ʻāpana aerospace, hoʻohana ʻia lākou no ka nānā ʻana i ke kaomi cabin a me ka nānā ʻana i ke olakino kino; i nā mea uila uila, hoʻonui lākou i ka ʻike mea hoʻohana o nā mea akamai; a ma ka ʻenehana ʻoihana, hoʻohana ʻia lākou no ka hoʻokele kaʻina hana a me nā robotics.
He aha nā ʻenehana hana i hoʻohana ʻia no nā mea ʻike kaomi kiʻiʻoniʻoni lahilahi?
ʻO nā ʻenehana maʻamau e pili ana i ka sputtering, chemical vapor deposition (CVD), physical vapor deposition (PVD), a me atomic layer deposition (ALD). Hiki i kēia mau ʻenehana ke hoʻomalu pono i ka mānoanoa, ka like ʻole, a me ke ʻano o ka kiʻiʻoniʻoni lahilahi, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hana sensor a me ka hilinaʻi. ʻO ka sputtering kahi ʻano hoʻoheheʻe kino kino i hoʻohana nui ʻia no ka hana ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni lahilahi; Hoʻohana mau ʻia nā ʻenehana CVD a me PVD no ka waiho ʻana i nā semiconductors a me nā mea insulating; Hiki iā ALD ke hoʻomalu i ka mānoanoa o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma ka pae atomika, kūpono no ka hoʻomākaukau ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni ultra-thin.
Kuhikuhi:
1.Ohring, M. (2001). "Materials Science o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi." Paʻi Haʻawina.
Ka manawa hoʻouna: Iune-28-2024